圓柱形靶材
到目前為止，平面型靶材一直很常見，但最近濺鍍設備可以使用旋轉型（圓柱形）靶材，我們正在為改進做出貢獻。
而且，品質與平板型靶材完全相同。
除了ITO靶材外，我們還成功量產了IGZO靶材，使我們能夠提供多種成分的靶材。
用途
平板顯示、觸控螢幕應用
ITO特性值
| 規格 | 單位 | 備註 | ||
|---|---|---|---|---|
| 組成 | In2O3 | 基準 | wt.% | - |
| SnO2 | 3,5,7,10 *1 | - | ||
| 純度 | ITO | ≧99.99 | % | - |
| 相對密度 | ≧99.5 *2 | % | - | |
*1 標準成分。我們也可以根據要求提供其他組合。
*2 10wt%SnO2-ITO
IGZO特性值
| 規格 | 單位 | 備註 | ||
|---|---|---|---|---|
| 組成*1 | In | 1 | 按比例 | - |
| Ga | 1 | - | ||
| Zn | 1 | - | ||
| 純度 | IGZO | ≧99.99 | % | - |
| 相對密度 | ≥99.5 | % | - | |
*1 可製造In:Ga:Zn:O=1:1:1:4以外的各種組成。
製造據點
日本：福岡縣大牟田市大字唐船2081（三池靶材廠）
台灣：台中市梧棲區緯五路6號（台灣特格股份有限公司）
